在真空實(shí)用技術(shù)中,真空的獲得和測量是兩個(gè)最重要的方面,在一個(gè)真空系統(tǒng)中,真空獲得的設(shè)備和測量儀器是必不可少的。目前常用的真空獲得設(shè)備主要有旋片式真空泵、油擴(kuò)散泵、渦輪分子泵、離子濺射泵、升華泵等。真空測量儀器主要有U型真空計(jì)、熱傳導(dǎo)真空計(jì)、電離真空計(jì)等。隨著電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展,各種真空獲得設(shè)備向高抽速、高極限真空、無污染方向發(fā)展。各種真空測量設(shè)備與微型計(jì)算機(jī)相結(jié)合,具有數(shù)字顯示、數(shù)據(jù)打印、自動(dòng)監(jiān)控和自動(dòng)切換量程等功能。
究竟什么是真空系統(tǒng)?用一句話來概括,就是用來獲得有特定要求的真空度的抽氣系統(tǒng)。真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)的基本內(nèi)容:是根據(jù)被抽容器對真空度的要求,選擇適當(dāng)?shù)恼婵障到y(tǒng)設(shè)計(jì)方案,進(jìn)行選、配泵計(jì)算;確定導(dǎo)管、閥門、捕集器、真空測量元件等,進(jìn)行合理配置,最后劃出真空系統(tǒng)裝配圖和零部件圖。
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